超純水（尤指18.2MΩ.cm的超純水）純凈程度到了極限(總鹽類濃度在1ppb以下）。在這種情況之下，留在水中并可以導(dǎo)電的陰陽離子，也只剩下1×10^-7M的[H^＋]及[OH^－]了。這時，空氣中二氧化碳的濃度雖然只有0.035%(350ppm)，卻能與水產(chǎn)生化學(xué)變化，反應(yīng)式為：CO₂ + H₂O <--> H₂CO₃，當(dāng)超純水開始曝露在大氣下時，二氧化碳的溶解，就無可避免的持續(xù)下去。這時，導(dǎo)電度會持續(xù)升高(或阻抗持續(xù)下降)，通常，在一小時之內(nèi)，導(dǎo)電度會由0.055μS/㎝ (18.2MΩ.㎝)升高到0.25μS/㎝以上(4MΩ.㎝以下)，整個過程中水中總離子濃度提高到4.5倍以上。

（二氧化碳對超純水電阻率的影響曲線圖）

以上僅是空氣中CO₂對超純水水質(zhì)的影響，空氣中還有氧氣（O₂）、二氧化硫（SO₂）、硫化氫（H₂S）、甲烷（CH₄）等氣體；以及灰塵、揮發(fā)性有機物、微生物等污染物質(zhì)；同時用于存儲超純水的容器與超純水接觸后還有離子的析出，所有這些，對純度*的超純水影響程度遠遠大于普通的純水，這從“二氧化碳對超純水電阻率影響"曲線圖上可以得到印證：水質(zhì)下降到4MΩ.cm以后，曲線斜率明顯變小趨于水平。

由此可以得出結(jié)論：超純水要現(xiàn)取現(xiàn)用。任何方式的貯存及久放，除了會有容器造成的污染外，可溶性氣體、灰塵、揮發(fā)性有機物、微生物等污染造成的導(dǎo)電度＆TOC上升是無法抗拒的。